走査型露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323717
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183188
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】専用の周辺露光装置を用いることなく、周辺露光をおこなうことができる走査型露光装置を提供する。【構成】露光パターンを有したマスク10を照明する照明光学系LO1〜LO5と、マスク10の露光パターンを通過した光束を感光基板15の周辺部を除く中央部PAに投影し、マスク10の露光パターンのない部分を通過した光束を周辺部EXに投影する投影光学系PL1〜PL5と、を備える走査型露光装置において、照明光学系LO1とLO5に周辺部EXの露光量を中央部PAの露光量より多くする露光量調節手段12,13を設けている。

請求項（抜粋）：

露光パターンを有したマスクを載置するマスクステージと矩形状の感光基板を載置する基板ステージとを同期させて前記矩形状の一辺と平行な一方向に移動させる駆動手段と、前記マスクを照明する照明光学系と、前記マスクの前記露光パターンを通過した光束を前記感光基板上の周辺部を除く中央部に投影し、前記マスクの前記露光パターンのない部分を通過した光束を前記周辺部に投影する投影光学系と、を具備する走査型露光装置において、前記照明光学系に、前記周辺部の露光量を前記中央部の露光量より多くする露光量調節手段を設けたことを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 , H01L 21/30 516 D

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-283726
特開平1-220332
特開昭56-055043

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