特許

J-GLOBAL ID：200903005945941348

走査電子顕微鏡

発明者： 川俣 茂 ,  沼田 吉典 ,  北沢 貢
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-029077
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222170
出願日： 1995年02月17日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】電子線の照射を行わないでも、フレームメモリに記憶された画像を部分拡大することにより、迅速に視野選択や倍率の決定などを行うことのできる走査電子顕微鏡を提供する。【構成】同一視野で解像度の異なる画像データを前記複数のフレームメモリに1回の電子線走査で同時に、または複数回の電子線の走査で記憶し、拡大倍率に応じた解像度のフレームメモリからの画像データ出力を選択して画像表示を行う事により、部分拡大を行う。【効果】迅速に視野選択や倍率の決定などを行うことができ、また電子線の照射による試料ダメージを低減できる。

請求項（抜粋）：

電子銃と、電子銃から発生される電子線を細く絞る収束レンズと、前記収束レンズで収束された電子線を試料上で2次元的に走査する偏向コイルと、電子線の照射によって前記試料から放出された電子を検出する検出器と、前記検出器の検出信号をデジタル信号に変換後、画像データとして記憶するフレームメモリを備えた走査電子顕微鏡において、前記フレームメモリに記憶された画像データを部分拡大または縮小し、表示する画像表示手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/147

FI (2件)：

H01J 37/22 502 C ,  H01J 37/147 B