特許

J-GLOBAL ID：200903005952942376

ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法

発明者： 木島 重基 ,  山中 秀介 ,  須藤 信行 ,  相沢 浩一 ,  宍戸 重之 ,  高木 繁行 ,  津嶋 敬章
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087498
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302586
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【構成】 水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液において、界面活性剤成分を含むポリイミド樹脂のエッチング液および該エッチング操作において、ポリイミド樹脂をエッチング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤成分を混入せしめて、該ゲル化成分を再溶解させる廃液処理方法。【効果】 本発明によれば、ポリイミドのエッチング加工がより高精度で可能になり、液の管理、回収、廃液処理及びエッチング機器の保全管理が容易になる。また、一度ゲル化した廃液も再溶解が可能となり液の管理、廃液処理が容易になる。

請求項（抜粋）：

水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液において、界面活性剤成分を重量比1〜30%含むポリイミド樹脂のエッチング液。

IPC (3件)：

H01L 21/308 ,  C02F 1/00 ,  G03F 7/40 521

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-108334