特許

J-GLOBAL ID：200903005955956270

基板搬送ロボット装置およびこれを用いた基板処理装置ならびに半導体製造装置

発明者： 杉本 信夫
出願人/特許権者： キヤノン販売株式会社 ,  キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334830
公開番号（公開出願番号）：特開平10-157847
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】 ハンドを少ない駆動力によって3次元的に広範囲に移動させるとともに、駆動部から発生する浮遊ゴミ等によるトラブルを防ぐ。【解決手段】 ハンド51,52は、垂直ハウジング10内の垂直軸移動機構によって、目的の処理室等の基板処理部の高さまで移動し、水平ハウジング20内の水平軸移動機構や水平回転機構30によって、目的の基板処理部まで2次元的に移動する。複数の基板処理部を3次元的に配設してクリーンルーム等を有効利用できるうえに、水平軸移動機構の駆動力や駆動量が少なくてすみ、露光装置の転写精度を損う横振動を低減できる。また、垂直ハウジング10等を減圧することで浮遊ゴミ等の流出を防ぐ。

請求項（抜粋）：

支持面に平行な平面内においてハンドを旋回させる旋回機構と、該旋回機構を前記支持面に対して平行に移動させる水平軸移動機構と、該水平軸移動機構を前記旋回機構とともに前記支持面に対して垂直に移動させる垂直軸移動機構を有する基板搬送ロボット装置。

IPC (5件)：

B65G 49/07 ,  B25J 9/02 ,  B25J 19/00 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/07 C ,  B25J 9/02 C ,  B25J 19/00 H ,  H01L 21/304 351 C ,  H01L 21/68 A