特許

J-GLOBAL ID：200903005968708870

電子ビーム検査装置

発明者： 細木 茂行 ,  市橋 幹雄 ,  和田 恭雄 ,  棟方 忠輔 ,  本多 幸雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007989
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219427
出願日： 1983年02月25日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】電子ビームの微小なスポット径に対応する試料の0.1μm程度の微細な欠陥箇所を検知する。【解決手段】電界放射陰極11と、照射手段と、像検出手段と、試料32の情報を記憶する記憶手段31と、該情報と前記像検出手段で得られた2次荷電粒子像とを比較する比較手段30と、該比較手段30で比較した結果を出力する出力手段29とを備えた構成。

請求項（抜粋）：

電界放射陰極と、照射手段と、像検出手段と、試料の情報を記憶する記憶手段と、該情報と前記像検出手段で得られた2次荷電粒子像とを比較する比較手段と、該比較手段で比較した結果を出力する出力手段とを備えたことを特徴とする電子ビーム検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  G01N 23/225 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/22 502

FI (7件)：

H01L 21/66 K ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Q ,  G01N 23/225 ,  G01R 31/26 J ,  H01J 37/22 502 H ,  G01R 31/28 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭55-068629
  
• 特開昭54-161263