特許

J-GLOBAL ID：200903005970523089

露光装置

発明者： 熊澤 雅人 ,  田中 正司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-116800
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326557
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 露光領域が大きな場合においても、スループットを低下させず良好なる光学性能のもとで投影露光を行う。【構成】 マスク(10)とプレート(30)とを移動させつつ、マスクの像をプレート上へ投影露光する露光装置は、マスクの等倍の正立正像をプレート上に形成し、かつ両側テレセントリックである第1投影光学系(35a) 及び第2投影光学系(35e) とを有する。第1及び第2投影光学系は、正屈折力の屈折光学系(G1,G2 )と、屈折光学系からの光を再び屈折光学系へ向けて反射させる平面反射面(M1,M2 )とを有する。

請求項（抜粋）：

第1の物体と第2の物体とを移動させつつ、前記第1の物体の像を前記第2の物体上へ投影露光する露光装置において、前記第1の物体の等倍の正立正像を前記第2の物体上に形成し、かつ両側テレセントリックである第1及び第2投影光学系を有し、前記第1及び第2投影光学系は、正屈折力の屈折光学系と、該屈折光学系からの光を再び該屈折光学系へ向けて反射する平面反射面とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/18

FI (2件)：

H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 515 D