特許

J-GLOBAL ID：200903005977378971

ガラス研磨装置

発明者： 真銅 英則 ,  長野 勝一 ,  立花 伸也 ,  寺野 喜弘
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315550
公開番号（公開出願番号）：特開平11-151667
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】液晶表示装置用カラーフィルタ基板などの研磨工程において、基板の着脱、研磨動作を人手に頼っていたことによる基板取り扱いキズの発生を抑え、完全なインライン化を図る。【解決手段】基板を載置する定盤が上下に移動可能な機構を備え、この機構により基板を持ち上げてガラス基板端部を浮かせた状態でハンドリング装置を用いて基板の脱着を行う研磨装置。

請求項（抜粋）：

カラーフィルタ層を形成したガラス基板を対象とする研磨装置において、基板を載置する定盤が上下に移動可能な機構を備え、この機構により基板を持ち上げてガラス基板端部を浮かせた状態でハンドリング装置を用いてガラス基板の脱着を行うことを特徴とするガラス研磨装置。