特許
J-GLOBAL ID：200903005980196680
水晶の直接接合方法および水晶デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武田 元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261601
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021741
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 従来よりも温度に対して共振周波数の安定な構造を容易に構成できるなどの水晶の直接接合方法および水晶デバイスを提供する。【構成】 水晶片101および102はそれぞれ直接接合して一体化し、張り合わせ水晶片104となっている。励振電極103は、張り合わせ水晶片104を介して対向設置されている。ここで、水晶片101および102のそれぞれの結晶軸のなす関係および厚みは、互いの共振周波数-温度特性を打ち消すように設定されている。以上のような構成により、張り合わせ水晶片104の共振周波数は温度に対して安定となる。
請求項（抜粋）：
表面を鏡面研磨し、洗剤で洗浄したのち、イソプロピルアルコールによる洗浄および硫酸と過酸化水素水の混合液による洗浄を行い、次に加熱乾燥を行って、前記表面が平滑平坦で、かつ水酸基で終端された状態になるように処理した水晶片同士を介在物なしに接触させて、前記表面の前記水酸基の間に作用する接着力で接着させたのち、さらに強い接着力が得られるように水晶結晶が相転移しない温度範囲内で熱処理したことを特徴とする水晶の直接接合方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, H03B 5/32
, H03H 9/19
, H03H 9/205
