特許

J-GLOBAL ID：200903005987880705

研磨布

発明者： 角田 勝己 ,  福本 博文
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317368
公開番号（公開出願番号）：特開平11-151662
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】研磨面の厚さ減少量が視覚により検出できる研磨布を提供する。【解決手段】研磨面に同心円状の複数の溝21を所定間隔で設ける。この溝21の深さは、長方形で囲った領域B〜D以外の部分が0.5mm、領域Bが0.25mm、領域Cが0.17mm、領域Dが0.13mmである。そのため、この研磨布1は、研磨面が厚さ0.13mm以上削り取られた時点で領域Dがマークとして現れる。研磨面がさらに削り取られて研磨面の減少量が0.17mmになった時点で、領域Cがマークとして現れる。研磨面がさらに削り取られて研磨面の減少量が0.25mmになった時点で、領域Bがマークとして現れる。

請求項（抜粋）：

研磨面の少なくとも一部が凹凸状に形成された研磨布において、凹部の深さが周りより浅い領域を設けたことを特徴とする研磨布。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24D 13/14 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 37/00 C ,  B24D 13/14 Z ,  H01L 21/304 321 P