特許
J-GLOBAL ID:200903005991045470
複合材及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
近島 一夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-188838
公開番号(公開出願番号):特開2003-001748
出願日: 2001年06月21日
公開日(公表日): 2003年01月08日
要約:
【要約】【課題】 局所領域でも均一であって、目的成分とする金属種以外の不純物成分が少なく、異種金属界面を含む表面から底面まで連続して欠陥の少ない複合材、特にドライプロセス蒸着のターゲット材として好適な複合材及びその製造方法を提供する。【解決手段】 AlとTi等の2種類以上の金属箔を、放電プラズマ接合等により拡散接合して、2種類以上の金属種が規則的に繰返された微細層状構造の複合材を形成する。該複合材をターゲット材として、反応性スパッタ法等のドライプロセス蒸着を行い、表面に耐摩耗性又は耐酸化性の優れた硬質薄膜をコーティングした切削工具又は摺動部品等の製品を得る。
請求項(抜粋):
2種類以上の金属種が、層厚0.5[mm]以下で規則的に繰り返された微細層状構造を有し、前記2種類以上の金属種の組成比が局所領域にあっても略々均一となる、ことを特徴とする複合材。
IPC (3件):
B32B 15/01
, C23C 14/34
, B23K 20/00 310
FI (3件):
B32B 15/01 K
, C23C 14/34 A
, B23K 20/00 310 C
Fターム (25件):
4E067AA05
, 4E067AA12
, 4E067BA00
, 4E067CA03
, 4E067DB01
, 4E067DB03
, 4E067EB00
, 4E067EC02
, 4F100AB00A
, 4F100AB00B
, 4F100AB02
, 4F100AB10
, 4F100AB11
, 4F100AB12
, 4F100AB13
, 4F100AB16
, 4F100AB19
, 4F100AB20
, 4F100BA08
, 4F100GB51
, 4F100JB02
, 4F100JK09
, 4F100JK14
, 4K029DC07
, 4K029DC15
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