特許
J-GLOBAL ID：200903005992636367
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-166465
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163673
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 基板搬送ロボット4により基板9を基板移載部3と基板処理部5との間で搬送する際、基板搬送ロボット4の基板チャック49による処理済み基板9の汚染を防止する。【構成】 一対の基板チャック49は、複数組のチャック対向面50・51に、それぞれ複数の基板整列保持溝52・53を有し、アーム回転軸47の回転により、基板チャック49の一組のチャック対向面50同士及び他のチャック対抗面51同士がそれぞれ対向するように切り替え可能に構成する。未処理基板9の搬送と処理済み基板9の搬送とで、基板チャック49のチャック対抗面を切り替えて使い分けることにより、基板搬送ロボット4の基板チャック49による処理済み基板9の汚染を防止する。
請求項（抜粋）：
複数の基板を収容したカセットから基板を取り出し又はそのカセット内に複数の基板を装填する基板移載部と、複数の基板を一括して処理する基板処理部と、上記基板移載部と上記基板処理部との間で複数の基板を一括保持して搬送する基板搬送ロボットとを具備して成る基板処理装置において、上記基板搬送ロボットは、走行部本体と、この走行部本体から略水平に突出した左右一対のアーム回転軸と、この一対のアーム回転軸を回転させる軸回転手段と、各アーム回転軸に固定された基板チャックとを備えて成り、上記一対の基板チャックは複数組のチャック対向面を有し、各組のチャック対向面は複数の基板整列保持溝を有し、各組のチャック対向面で基板を起立整列状態で一括保持するように構成するとともに、アーム回転軸の回転により基板チャックのチャック対向面を切り換え可能に構成したことを特徴とする基板処理装置の基板搬送装置。
引用特許：
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