特許
J-GLOBAL ID:200903005993498952
光波回路モジュールおよびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-397023
公開番号(公開出願番号):特開2002-258084
出願日: 2001年12月27日
公開日(公表日): 2002年09月11日
要約:
【要約】【課題】 光導波路を通った信号光が効率良く受光素子に入射する光波回路モジュールを提供すること【解決手段】 略円形凹形のスポット11を有する基板1と、スポット11の内面に沿って形成された光反射膜12と、スポット11を通るプレーナー光導波路6とを備え、スポット11における光反射膜12によって、光導波路6の光は斜め上方へ反射集束される、光波回路モジュールである。
請求項(抜粋):
略円形凹形のスポットを有する基板と、前記スポットの内面に沿って形成された光反射膜と、前記スポットを通るプレーナー光導波路とを備え、前記スポットにおける前記光反射膜によって、前記光導波路の光は斜め上方へ反射集束される、光波回路モジュール。
IPC (3件):
G02B 6/122
, G02B 6/13
, H01L 31/0232
FI (4件):
G02B 6/12 B
, G02B 6/12 M
, H01L 31/02 C
, H01L 31/02 D
Fターム (18件):
2H047KA04
, 2H047KA11
, 2H047KB08
, 2H047LA05
, 2H047LA09
, 2H047LA12
, 2H047LA18
, 2H047MA07
, 2H047PA02
, 2H047PA24
, 2H047TA11
, 5F088BA03
, 5F088BA16
, 5F088HA05
, 5F088HA09
, 5F088JA13
, 5F088JA14
, 5F088JA20
引用特許:
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