特許

J-GLOBAL ID：200903005998119470

顕微測定装置の自動焦点調整装置

発明者： 田中 豊彦
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358485
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180654
出願日： 1991年12月28日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 赤外顕微鏡等目視を主目的としない顕微測定装置において、焦点調整を自動で行うようにすることを目的とする。【構成】 顕微鏡の対物鏡の光軸に傾斜させて試料面の焦点位置に細い光ビームを投光させ、試料面からの該反射光ビームの受光位置を位置分解能を有する受光素子で測定し、合焦位置にある試料面からの反射光ビームの受光位置を基準として、その受光位置から対物鏡と試料台との距離を求め、そのデータにより試料台を自動的に合焦位置に制御するようにした顕微測定装置の自動焦点調整装置。

請求項（抜粋）：

顕微鏡の対物鏡の合焦位置で対物鏡光軸と交わるように照光される細い光ビームを試料に投光させる手段と、上記光ビームの試料面で鏡面反射させた光ビームを受光する手段とよりなり、同受光素子を上記試料への入射および反射光ビームの中心光線を含む平面と平行の方向に位置分解能を有する受光素子とし、合焦位置にある試料面からの反射ビームの受光位置を基準にして、対物鏡と試料台との距離を自動的に制御する手段を設けたことを特徴とする顕微測定装置の自動焦点調整装置。

IPC (3件)：

G01C 3/06 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-066112
  
• 特開昭62-027613