圧力センサとその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣澤勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-029266
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171319
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】センサの気密性が高く、被測定圧力媒体が外部に漏れることがなく安全で、構造も簡単な圧力センサとその製造方法を提供する。【解決手段】半導体の圧力センサ素子20と、センサ素子20の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって被測定圧を導入する圧力導入筒25を有する。センサ素子20を収容する樹脂製のセンサケース21と一体に、表面実装型のリードフレーム端子22と圧力導入筒25とをインサート成形し、圧力導入筒25のセンサケース21内の基端部26にセンサ素子20を気密状態に接合する。センサケース21を外装ケース41内に収容し、この外装ケース41の圧力導入部45に連通した取付部44に圧力導入筒25が嵌合し、Oリング46を介して気密状態に取り付けられている。

請求項（抜粋）：

半導体の圧力センサ素子と、上記センサ素子の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって被測定圧を導入する圧力導入筒を有し、このセンサ素子を収容する樹脂製のセンサケースと一体に、表面実装型のリードフレーム端子と上記圧力導入筒とをインサート成形し、上記圧力導入筒の上記センサケース内の基端部に上記センサ素子を気密状態に接合し、上記センサケースと一体の上記リードフレームを、電気的接続用の基板に表面実装し、上記センサケースをさらに外装ケース内に収容し、この外装ケースの圧力導入部に連通した取付部に上記圧力導入筒が嵌合し、この取付部に対して上記圧力導入筒の外側面がOリングを介して気密状態に取り付けられていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/00 A , H01L 29/84 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-155970
特開平4-155970
特開平3-037536

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