X線像観察装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-016687
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210996
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】試料表面に形成された微細孔の残膜の有無を迅速かつ容易に判定できるX線装置を提供する。【構成】試料1表面にX線21を照射する。発生した蛍光X線50をゾーンプレート2とピンホール17を用いて分光した後、光学素子4を用いて検出器5のX線受光面上に拡大結像して、試料1表面の蛍光X線像を得る。このX線像を制御装置14に接続された表示装置16のディスプレー上で観察する。【効果】上記観察により、たとえばウエハを割ることなく、多数の微細孔に対して微細孔底面の残膜の有無を迅速に判定できる。さらに、観察後のウエハを製造プロセスに戻すことも可能である。

請求項（抜粋）：

試料へのX線の照射手段、観察すべき微細孔の直径もしくは一辺の長さを2a、深さをdとした場合、tan(a/d)=θで定まる角度をθとすると、上記X線照射により発生した蛍光X線を微細孔の中心軸からθの範囲内で定義される領域内で観測可能な分光手段、蛍光X線の結像手段、分光手段もしくは結像手段あるいは分光手段と結像手段に含まれる複数の光学素子の位置を蛍光X線のエネルギーに同期して制御する位置制御手段、およびX線像の2次元検出手段を備えたX線像観察装置。

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