特許

J-GLOBAL ID：200903006014092637

2個の物体を互いに心合せするための心合せマーク

発明者： パウル・カイザー
出願人/特許権者： カール・ジュス・コマンディットゲゼルシャフト・プレーチジオンズゲレーテ・フューア・ヴィッセンシャフト・ウント・インダストリー・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-001000
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069092
出願日： 1991年01月09日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 オプトエレクトロニク評価における心合せマークの互いの光学的影響に基づく位置決め誤差を無くすと共に、高速の評価を可能にする。【構成】 直線がオプトエレクトロニク走査され、得られた明るさ値が直線毎に積分されるようにした、画像認識システムにより2個の物体を互いに心合せする工程用の心合せマークである。

請求項（抜粋）：

特に半導体技術におけるマスクとウェーハのように、2個の物体を互いに心合せするための心合せマークにおいて、少なくとも上方の物体は光学的に透明であり、且つ、心合せマークは重ねられ、又、心合せマークは、平行な交差しない直線から成ると共に、2個の直接重ねられた心合せマーク領域の直線は、所定位置において互いに平行に配置されていない心合せマーク。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 1/08 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-055824
  
• 特開昭59-174707