特許

J-GLOBAL ID：200903006017086930

ガラス基板洗浄装置

発明者： 外山 益実
出願人/特許権者： ぺんてる株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-204447
公開番号（公開出願番号）：特開2005-046687
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】ガラスの位置又は付着物の状況によっては、洗浄液に超音波を照射したときの振動が伝わらず、期待される効果が十分得えられない場合や、ガラスの洗浄に時間が掛かっていた。【解決手段】水または洗浄液を貯水する貯水槽と、該貯水槽の下部に前記水または洗浄液に振動を与える振動発生装置と、貯水槽の上部にはモータに直結したプーリーと、該プーリーに接続された回転軸、揺動を発生するカムフロアからなる第1の揺動機構と、前記モータで発生した回転力を第2の揺動機構に伝達するためのベルトを設けた洗浄装置であり、前記回転軸に被洗浄体を収納したホルダーを載置するガラス基板洗浄装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水または洗浄液を貯水する貯水槽と、該貯水槽の下部に前記水または洗浄液に振動を与える振動発生装置と、貯水槽の上部にはモータに直結したプーリーと、該プーリーに接続された回転軸、揺動を発生するカムフロアからなる第1の揺動機構と、前記モータで発生した回転力を第2の揺動機構に伝達するためのベルトを設けた洗浄装置であり、前記回転軸に被洗浄体を収納したホルダーを載置することを特徴とするガラス基板洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B3/04 ,  B08B3/12 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/304

FI (6件)：

B08B3/04 A ,  B08B3/12 C ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500 ,  H01L21/304 642D ,  H01L21/304 642E

Fターム (13件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  3B201AA02 ,  3B201AB40 ,  3B201AB44 ,  3B201BB02 ,  3B201BB83 ,  3B201BB93 ,  3B201BB95