特許
J-GLOBAL ID：200903006018000001
アルミニウムガーネット結晶膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-023643
公開番号（公開出願番号）：特開平7-215798
出願日： 1994年01月26日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：
【要約】【目的】 格子整合と屈折率の制御を同時に行なったアルミニウムガーネット結晶膜を提供する。【構成】 アルミニウムガーネット基板または置換アルミニウムガーネット基板1上に、該アルミニウムガーネット結晶または置換型ガーネット結晶の組成のうちアルミニウムの一部をガリウム、スカンジウム、鉄の3価の元素のうちから選ばれた1種類以上の元素で置換し、かつ前記一般式のRの一部を、ルテチウム、イッテルビウム、ツリウム、エルビウムの3価の元素のうちから選ばれた1種類以上の元素で置換した膜2であることを特徴とする。【効果】 基板と膜の間の屈折率差を実用に供する範囲で設定することができるようになり、かつ基板と膜の格子整合が行なわれているので、損失の少ない膜が作製でき、そのことによって導波路材料として優れた性質を有する材料となり、産業上の利点が大きい。
請求項（抜粋）：
一般式R3Al5O12(Rはイットリウム、ガドリニウムあるいはその他の3価の価数を有する希土類元素のいずれか1種を表す)で示されるアルミニウムガーネット結晶基板、または、前記アルミニウムガーネット結晶の酸素以外の構成元素の一部を、3価の価数を有する1種以上の元素、または3価以外の価数を有する2種類以上の元素を組み合わせることによって全体として3価と等価な役割を担わせた元素の組、によって置換した置換型ガーネット結晶基板上に、該アルミニウムガーネット結晶または置換型ガーネット結晶の組成のうちアルミニウムの一部をガリウム、スカンジウム、鉄の3価の元素のうちから選ばれた1種類以上の元素で置換し、かつ前記一般式のRの一部を、ルテチウム、イッテルビウム、ツリウム、エルビウムの3価の元素のうちから選ばれた1種類以上の元素で置換した膜であることを特徴とするアルミニウムガーネット結晶膜。
IPC (3件)：
C30B 29/28
, C30B 19/00
, G02B 6/12
