特許
J-GLOBAL ID：200903006019435311
振動型レートジャイロ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-310458
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159178
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 湿気及び温度変化に対しても、センサ出力の変化がなく、正確な角速度を検出することができる振動型レートジャイロセンサをバラツキ無く安定に提供すること。【構成】 金属振動体3の駆動部5及び検知部4に圧電体2A,2B,2Cを貼着してなると共に、該圧電体の貼着されていない面A面の電極22が、該圧電体の端部よりひかえて形成されており、さらに該圧電体2を該金属振動体3に貼着する前に予め該A面にスクリーン印刷等で該金属振動体3と該電極22との間の電気信号がリークすることを防止するための非吸湿コーティング層を被覆してなる。
請求項（抜粋）：
電極が形成されている圧電体を具備した振動型レートジャイロにおいて、金属振動体を有し、前記圧電体の内、前記金属振動体に接合される面と反対側の面に形成された電極表面上に、予め非吸湿性コーティング層が設けられており、該圧電体の内、前記接合面に成形された電極を前記金属振動体に接合したことを特徴とする振動型レートジャイロセンサ。
IPC (2件)：
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