特許
J-GLOBAL ID：200903006021006177
ユニバーサルチャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-309490
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148548
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、外径サイズの相違する半導体ウエハであっても自在に且つ確実に吸着でき、加えて、ミクロ単位の傷又は跡を残留さないユニバーサルチャックを提供することを目的とするものである。【構成】本発明の構成は、チャック本体と、凹陥部と、通気通水機構と、複数の環状仕切と、通気通水機構と複数の環状仕切によって仕切られた環状隔溝とを連通させる切替バルブと、凹陥部へ嵌着する円板状乗載台と、円板状乗載台の外方へ嵌着する複数の環状乗載台とから成るチャックにおいて、円板状乗載台と隣接する環状乗載台との間の環状空隙部及び環状乗載台と隣接する環状乗載台との間の環状空隙部へ空隙部用不通気部材としてペースト状焼結剤と混和させたガラス繊維を塗布焼結した構成であり、更に、空隙部用不通気部材として充填剤を充填した構成であり、加えて、空隙部用不通気部材として粘着テープを貼着した構成である。
請求項（抜粋）：
不通気性部材で形成した円盤形状のチャック本体と、該チャック本体の中心辺へ形成した凹陥部と、該凹陥部の底面の中心へ貫設させたバキューム機構及び通水機構へ連通する通気通水機構と、前記凹陥部の外方へ同心状に立設した複数の環状仕切と、該通気通水機構と複数の環状仕切によって仕切られた夫々の環状隔溝とを連通させる夫々の切替バルブと、前記凹陥部の上方へ嵌着する円板状乗載台と、該円板状乗載台の外方へ同心状に且つ上面を平坦状にして嵌着する夫々サイズの相違する複数の環状乗載台とから成る半導体ウエハをバキューム吸着して研削する研削盤のチャックにおいて、前記円板状乗載台と隣接する環状乗載台との間の環状空隙部及び環状乗載台と隣接する環状乗載台との間の環状空隙部へ空隙部用不通気部材として焼結後の硬度が前記夫々の乗載台の材質の硬度と略同等か又は若干低い硬度の材質のペースト状焼結剤と混和させたガラス繊維を塗布焼結したことを特徴とするユニバーサルチャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, H01L 21/304 321
