特許
J-GLOBAL ID：200903006026238998
蒸着用るつぼの温度制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221643
公開番号（公開出願番号）：特開平7-070739
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：
【要約】【目的】 膜厚の均一な蒸着膜を形成する。【構成】 誘導加熱コイル22に交番電流を流すことにより、長尺るつぼ21内の溶融アルミ13を誘導加熱してアルミ蒸気を発生させる。回転する冷却キャン16に巻回して走行する帯状フィルム10の表面に、アルミ蒸気14が蒸着し、所要膜厚の蒸着膜15を形成する。帯状フィルム10の幅方向における蒸着膜の膜厚ばらつきが許容値を越えそうになると、膜厚が増大した部分において、制御用コイル1に通電をしてこの部分の交番磁界を弱め、当該部分への加熱入力を減らしてアルミ蒸気を減らす。
請求項（抜粋）：
蒸着用るつぼと、この蒸着用るつぼを加熱する誘導加熱コイルを具備した蒸着装置において、複数の制御用コイルを備え、しかも各制御用コイルから出力される各交番磁界が、蒸着用るつぼの異なる部分を通ると共に前記誘導加熱コイルから出力された交番磁界と作用する状態にして、前記制御用コイルを配列したことを特徴とする蒸着用るつぼの温度制御装置。
引用特許：
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