特許

J-GLOBAL ID：200903006041688371

電子線照射方法及び装置

発明者： 木村 寿男
出願人/特許権者： 日新ハイボルテージ株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-051796
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242297
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】加速器チャンバーの照射窓に取り付ける窓箔の厚さを薄くしてエネルギ損失を少なくした電子線照射装置を提供する。【解決手段】照射チャンバー101に加速器チャンバー102の照射窓102aを接続し、加速器チャンバー102と照射チャンバー101との間を仕切るように照射窓に窓箔103を取り付けた電子線照射装置において、照射チャンバー101内を減圧する真空ポンプ138を設け、加速器チャンバー102内が減圧されているときに照射チャンバー101内をも減圧した状態に保つ。また被照射物としての粉体142に振動を付与する振動付与装置144を設けて、粉体の各粒子に跳ね返り運動を生じさせながら電子線を照射する。

請求項（抜粋）：

電子線が照射される被照射物を内部に収容する照射チャンバーと、前記照射チャンバーに接続された照射窓を有する加速器チャンバーと前記照射窓を塞ぐように取り付けられた窓箔と前記加速器チャンバー内に配置された電子銃とを有して前記電子銃から発生した電子線を加速して前記窓箔を通して前記照射チャンバー内に照射する加速器と、被照射物としての粉体を保持するように構成されて前記照射チャンバー内で前記照射窓に対向させられた照射パレットと、前記照射チャンバー内を減圧する真空ポンプと、前記照射パレットに振動を与える振動付与装置とを設けておき、前記加速器チャンバー内と照射チャンバー内とを同時に真空引きして両チャンバー内を減圧した状態に保ち、前記照射パレットに振動を与えながら、前記加速器チャンバーから前記窓箔を通して前記照射パレット上の粉体に電子線を照射する電子線照射方法。

IPC (4件)：

G21K 5/00 ,  G21K 5/04 ,  G21K 5/10 ,  A23L 3/005

FI (5件)：

G21K 5/00 B ,  G21K 5/00 W ,  G21K 5/04 E ,  G21K 5/10 Z ,  A23L 3/005

Fターム (7件)：

4B021LA44 ,  4B021LP08 ,  4B021LP10 ,  4B021LT03 ,  4B021LW09 ,  4B021MC01 ,  4B021MC10