特許

J-GLOBAL ID：200903006043798476

圧電体素子及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ

発明者： 水谷 肇
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269188
公開番号（公開出願番号）：特開2001-088301
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 圧電体膜の優先配向方位との関連で上部電極或いは下部電極の応力状態を設定することで圧電体素子の変位量を向上させる。【解決手段】 圧電体素子13は上部電極72と下部電極71に挟まれる圧電体膜9を備えている。圧電体膜9は(100)面方位に優先配向処理されたPZT系の多結晶体から構成されている。上部電極72と下部電極71の少なくとも一方は圧電体膜内部に圧縮応力を与える薄膜、例えば白金で構成されている。上部電極72と下部電極71の少なくとも一方を上記薄膜で構成することで、圧電体膜9は圧縮応力を受ける膜となる。(100)面方位に優先配向された圧電体膜9は圧縮応力を受けることで分極軸がより変位方向(例えば、加圧室10を加圧する方向)へ向くため、圧電体素子13の変位量を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

上部電極と下部電極に挟まれる圧電体膜を備える圧電体素子において、前記圧電体膜は(100)面方位に優先配向処理された多結晶体から構成され、さらに上部電極と下部電極の少なくとも一方が圧電体膜内部に圧縮応力を与える薄膜で構成されていることを特徴とする圧電体素子。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C

Fターム (13件)：

2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG38 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP25 ,  2C057AP32 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14