特許
J-GLOBAL ID:200903006043799596

感光性樹脂及びそれを含有するアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田治米 登 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-074612
公開番号(公開出願番号):特開平8-239438
出願日: 1995年03月06日
公開日(公表日): 1996年09月17日
要約:
【要約】【目的】 アルカリ水溶液で現像可能であり、しかもソルダーマスク材料として優れた特性を示し且つプレキュアー後の塗膜がタックフリーとなる感光性樹脂組成物を調製する。【構成】 感光性樹脂組成物に、式(1)【化1】(式中、R1及びR2はそれぞれ独立的に水素、低級アルキル基又はハロゲンであり、R3は水素又はメチル基であり、Xは存在しないか又は-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-C(CH3)2-もしくは-O-であり、Yは不飽和イソシアナート残基であり、Zは飽和または不飽和多塩基酸分子内無水物残基であり、平均重合度nは0.5〜5の数である。)で表される感光性樹脂を含有させる。
請求項(抜粋):
式(1)【化1】(式中、R1及びR2はそれぞれ独立的に水素、低級アルキル基又はハロゲンであり、R3は水素又はメチル基であり、Xは存在しないか又は-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-C(CH3)2-もしくは-O-であり、Yは不飽和イソシアナート残基であり、Zは飽和又は不飽和多塩基酸分子内無水物残基であり、平均重合度nは0.5〜5の数である。)で表される感光性樹脂。
IPC (4件):
C08F299/02 MRV ,  C08G 59/17 NHG ,  C08G 59/40 NKH ,  G03F 7/027 515
FI (4件):
C08F299/02 MRV ,  C08G 59/17 NHG ,  C08G 59/40 NKH ,  G03F 7/027 515

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