薬液液面検知方法及び薬液液面検知装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高月亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360818
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204206
出願日： 1992年12月31日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】処理用薬液の種類・状態などに関係なく、安定した液面レベルの検出ができ、その検出信号によって各種制御(空焚き防止等)が可能で、薬液槽の割れやダストの多発等の不都合を防止した薬液液面検知方法及び薬液液面検知装置を提供する【構成】半導体ウェハ等電子材料2を薬液1(エッチング液等)で処理する場合、薬液の液面をガスの背圧の変化でエアーセンサー5等を用いて検知し、必要に応じ、検知信号により温度制御その他の制御を行う。

請求項（抜粋）：

電子材料を薬液で処理する場合の該薬液の液面をガスの背圧の変化で検知することを特徴とする薬液液面検知方法。

IPC (3件)：

H01L 21/306 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

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