特許

J-GLOBAL ID：200903006062273074

ドライフィルムフォトレジスト

発明者： 高橋 秀知 ,  若田 裕一
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-108275
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317595
出願日： 2003年04月11日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】高解像度で、かつ破れにくいテント膜を形成することができるドライフィルムフォトレジストを提供する。【解決手段】可撓性透明フィルム支持体と、該支持体の上に形成された感光性樹脂組成物層とからなるドライフィルムフォトレジストにおいて、該感光性樹脂組成物層が、(A)バインダー成分、(B)ウレア結合とエチレン性不飽和結合とを含有する重合性化合物を含むモノマー成分、及び(C)光重合開始剤を含む組成物からなることを特徴とするドライフィルムフォトレジスト。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

可撓性透明フィルム支持体と、該支持体の上に形成された感光性樹脂組成物層とからなるドライフィルムフォトレジストにおいて、該感光性樹脂組成物層が、(A)バインダー成分、(B)ウレア結合とエチレン性不飽和結合とを含有する重合性化合物を含むモノマー成分、及び(C)光重合開始剤を含む組成物からなることを特徴とするドライフィルムフォトレジスト。

IPC (3件)：

G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H05K3/06

FI (3件)：

G03F7/027 514 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/06 J

Fターム (35件)：

2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC45 ,  2H025BC83 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA48 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025DA01 ,  2H025DA19 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  5E339AB02 ,  5E339AC01 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD03