特許
J-GLOBAL ID：200903006063400347
汚染を少なくするための一体型流体分配装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154122
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251329
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 分配流体内に汚染源を誘導しない超高純度流体分配システムを提供する。【構成】 超高純度の流体の分配に適した、一体型の流体分配装置10である。流体は、非剛性の密閉式流体分配装置10に収容される。ポンプ機構11が精密な量と、流速で流体を汲み出す。加湿吐出ノズル12は、ノズル先端で飽和水蒸気雰囲気を発生して、吐出されていない間に流体が乾燥することを防ぐ。
請求項（抜粋）：
吐出される流体の汚染を減ずるための、一体型流体分配装置であって:非剛性の密閉式流体分配装置(10);密閉式流体分配装置(10)を支持して、流体容器(9)として機能する、水位検知手段を有するハウジング(13);密閉式流体分配装置(10)の、流体容器(9)とは離れたほうの部分に接続された加湿吐出ノズル(12);非剛性密閉式分配装置(10)から、加湿吐出ノズル(12)に向かって流体を汲み出す手段(11,11A,11B)であって、このとき非剛性密閉式分配装置(10)はポンプ手段(11,11A,11B)と協働する部分を有するポンプ手段;および流体吐出に先立ち、流体の温度を規制する手段(14);によって構成されることを特徴とする一体型流体分配装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, F17D 1/08
, G03F 7/16 501
