特許
J-GLOBAL ID：200903006066777514
高さ測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225906
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060553
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 非接触で被測定物の高さを正確にかつ高速に測定する高さ測定装置に関するもので、測定領域のみにレーザスポット光を同時に投射し、一度の撮像で被測定物上からの複数のスポット反射光を同時に取り込むことにより高速、高精度で効率のよい処理が可能な高さ測定装置を提供する。【構成】 スポット光源103からのスポット光を被測定物101上の所定の測定領域にスポット光偏向手段104で偏向させ、被測定物で反射されたスポット光の光量が一定の範囲に入るようにスポット制御手段106でスポット光源103を制御する。一方、被測定物101の複数の測定領域に投射されたスポット光の反射光を撮像手段107で撮像し、撮像手段107からの映像信号をA/D変換しディジタル画像として画像メモリ109に格納し、画像メモリ109に一時記憶されたスポット画像から、高さ演算手段110でスポット像の中心位置を求め基準からのずれ量を算出し、三角測量の原理に基づき測定点の高さを算出することにより、被測定物の高さデータを取得し、蓄積する。
請求項（抜粋）：
レーザスポット光を生成するレーザスポット光源と、被測定物における複数の測定領域を記憶する測定領域記憶手段と、前記レーザスポット光を前記測定領域記憶手段からの位置情報に従い被測定物の複数の測定箇所に時分割的に投射するスポット光偏向手段と、被測定物上からの複数のスポット反射光を同時に撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの映像信号をディジタル化し画像メモリに記憶する画像入力手段と、前記画像メモリに記憶された複数のスポット像の中心位置を求め、三角測量の原理に基づき被測定物上の測定領域の基準面からの高さを順次計算する高さ演算手段と、装置全体を制御し被測定物の高さデータを取得する全体制御手段とを具備し、被測定物からのスポット光反射光量を前記画像メモリに記憶されたスポット画像の輝度分布から求め、総てのスポット反射光の光量が基準範囲に入るようにレーザスポット光源からの光量を制御することを特徴とする高さ測定装置。
IPC (3件)：
G01C 3/06
, G01B 11/02
, G01B 11/24
