特許
J-GLOBAL ID：200903006068318703
検版装置における画像データの位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-340256
公開番号（公開出願番号）：特開平9-179286
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 伸縮がある被検査物を走査して得た画像データであっても、正確に画像データの位置合わせを行うことができるようにすること。【解決手段】 まず初校及び再校の画像データをモニタ上に表示し、各画像データ上で第1乃至第3の基準点を指示する。このとき第1及び第2の基準点は画像データのほぼ対角上の位置に、また第3の基準点は第1及び第2の基準点を結ぶ線上にはない位置に指示する。ホストコンピュータでは第1及び第2の各基準点を一致させるために一方の画像データを回転させる角度と水平移動させる移動量と伸縮による変換量とを演算する。これに基づいて一方の画像データを座標変換する。次に第3の基準点のズレに応じて伸縮補正を行う伸縮補正量を演算する。これに基づいて前記座標変換後の画像データを更に伸縮補正する。これにより2つの画像データの位置合わせが精度良く行える。
請求項（抜粋）：
パターンが形成された第1の検査対象物を走査して得た矩形領域の第1の画像データと、同様のパターンが形成された第2の検査対象物を走査して得た矩形領域の第2の画像データとを比較して画像の相違点を検出する検版装置における画像データの位置合わせ方法であって、前記第1及び第2の画像データをモニタ上に表示する表示工程と、表示された前記第1及び第2の画像データのそれぞれの矩形領域内において所定距離離れたほぼ対角位置に第1及び第2の基準点を各々指示するとともに、前記第1及び第2の基準点を結ぶ線上にない位置に第3の基準点をさらに指示する指示工程と、前記第1及び第2の画像データ上における前記第1ないし第3の基準点の位置情報を検出する位置情報検出工程と、前記第1及び第2の画像データ上のそれぞれにおける前記第1及び第2の基準点の位置情報から、前記第1及び第2の画像データのうちの一方の画像データを回転、水平移動及び伸縮させて座標変換する座標変換量を演算する座標変換量演算工程と、前記座標変換量に基づいて前記第2の画像データを座標変換する座標変換工程と、前記第1の画像データにおける前記第3の基準点の位置情報と、座標変換後の前記第2の画像データにおける前記第3の基準点の位置情報との相互関係から、前記伸縮による座標変換を補正するための伸縮補正量を演算する伸縮補正量演算工程と、前記伸縮補正量に基づいて、前記第1の画像データ及び座標変換後の前記第2の画像データのうちの一方を伸縮補正する伸縮補正工程と、を備える画像データの位置合わせ方法。
IPC (3件)：
G03F 1/00
, G03F 9/00
, G06T 7/00
G03F 1/00 W
, G03F 9/00 G
, G06F 15/70 330 P
