プラズマエッチング用電極板とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高畑正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-249974
公開番号（公開出願番号）：特開平7-278851
出願日： 1986年04月17日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】長期間に亘り安定かつ高精度のエッチング加工を行うことができるプラズマエッチング用電極板とその製造方法を提供する。【構成】高純度のガラス状カーボン板に多数の貫通小孔を穿設してなる平板状の電極であって、前記貫通小孔が樹脂板成形段階で形成されたものであるプラズマエッチング用電極板。製造方法は、液状フラン系樹脂、フェノール系樹脂またはこれらの混合樹脂、もしくはこれら液状樹脂に同一種類の硬化樹脂微粉を添加混合した樹脂原料を均一肉厚の平板状に成形硬化し、得られた樹脂板に予め炭化時の寸法収縮を見込んで多数の貫通小孔を形成したのち、不活性雰囲気下で焼成炭化および必要に応じて更に黒鉛化処理を施し、最終的に塩素含有ガスにより高純度処理することを特徴とする。

請求項（抜粋）：