特許
J-GLOBAL ID：200903006076416048
ブラシ洗浄装置およびブラシ洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235053
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074238
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 この発明は被洗浄物をスポンジブラシで洗浄する際、このスポンジブラシを被洗浄物に対して所定の接触長さで高精度に接触させることができるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】 半導体ウエハ22を所定の状態で保持する回転チャック11と、先端部にスポンジブラシ31aが設けられた旋回ア-ム33を有し、この旋回ア-ムを旋回運動させるモ-タ48および上下運動させるリニアモ-タ44と、上記半導体ウエハを洗浄するに先立って上記スポンジブラシに含まれる液体を除去する液切り部61と、この液切り部で液体が除去されたスポンジブラシの下面の高さを検出する検出部62と、この検出部での検出値に基づいて上記ブラシ駆動手段を駆動して上記被洗浄物を洗浄するスポンジブラシの下面の高さを設定する制御装置54とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
回転駆動されるスポンジブラシによって所定の状態で保持された被洗浄物を洗浄するブラシ洗浄装置において、上記被洗浄物を所定の状態で保持する保持手段と、先端部に上記スポンジブラシが設けられた旋回ア-ムを有し、この旋回ア-ムを旋回運動および上下運動させることで上記スポンジブラシによって上記被洗浄物を洗浄させるブラシ駆動手段と、上記旋回ア-ムの旋回領域に設けられ上記被洗浄物を洗浄するに先立って上記スポンジブラシに含まれる液体を除去する液切り部と、この液切り部で液体が除去されたスポンジブラシの下面の高さを検出する検出部と、この検出部での検出結果に基づいて上記被洗浄物を洗浄するときの上記スポンジブラシの下面の高さを設定する制御手段とを具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 1/04
H01L 21/304 341 B
, B08B 1/04
