特許

J-GLOBAL ID：200903006078960322

光情報記録媒体及びその製造方法

発明者： 三浦 裕司 ,  花岡 克成 ,  出口 浩司 ,  大谷 渉 ,  古川 龍一 ,  柴田 清人 ,  阿萬 康知 ,  小名木 伸晃
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-112800
公開番号（公開出願番号）：特開2001-297491
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 極薄い結晶化促進層を所定の膜厚で均一に、かつ再現性良く形成し、確実に初期化を不要にし得る光情報記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】 結晶化促進層を成膜対象の基板9とターゲット10との間の距離Lを通常のスパッタ方式よりも大きめとするロングスロースパッタ式を利用して成膜することにより、その成膜速度が遅いため、極薄い結晶化促進層を適切な時間かけて成膜することができ、極薄い結晶化促進層を所定の膜厚で均一に再現性良く形成でき、確実に初期化を不要とし得る光情報記録媒体を製造できる。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも第1の誘電体層、記録層、第2の誘電体層、反射放熱層を積層し、前記記録層の少なくとも一部分に接触させた結晶化促進層を有する光情報記録媒体の製造方法であって、前記結晶化促進層をロングスロースパッタ方式で成膜するようにしたことを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。

IPC (3件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34 ,  G11B 7/24 533

FI (5件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34 N ,  C23C 14/34 P ,  C23C 14/34 S ,  G11B 7/24 533 H

Fターム (15件)：

4K029AA11 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA46 ,  4K029BA51 ,  4K029BB02 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  5D029NA07 ,  5D121AA03 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09