特許
J-GLOBAL ID:200903006090354365

X線発生装置内で電子ビームを発生する方法及びシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 研一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-187004
公開番号(公開出願番号):特開2003-100242
出願日: 2002年06月27日
公開日(公表日): 2003年04月04日
要約:
【要約】【課題】 大電流を必要とすることなく室温で動作するフィラメントを持つ頑丈で低コストで、寿命の長いX線発生装置を提供する。【解決手段】 本発明のX線発生装置は、電子ビームを発生するために電界放出アレイ(12)を有する。電界放出アレイ(12)は通常室温で動作し、先行技術の熱イオン放出器を超える電流密度を生じさせることができる。本発明によれば、電子ビームは、例えば50〜100V程度のバイアス電圧を用いて発生される。このバイアス電圧は、必要な場合に調節することができる。電界放出アレイ(12)は12000時間を超える推定寿命を持ち、またX線発生装置(10)において電子ビームを発生する頑丈で効率の良い放出装置を構成する。
請求項(抜粋):
集束用カップと、前記集束用カップ内に収容された電子源であって、電界放出アレイ(FEA)型放出装置を有している、電子ビームを発生する電子源と、電子ビームを集束するように配置されたビーム集束構造と、を有するX線発生装置。
IPC (4件):
H01J 35/06 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/02 ,  H05G 1/00
FI (5件):
H01J 35/06 B ,  H01J 35/06 E ,  G21K 1/00 E ,  G21K 5/02 X ,  H05G 1/00 E
Fターム (5件):
4C092AA01 ,  4C092AB19 ,  4C092AB27 ,  4C092BD04 ,  4C092CE06

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