特許

J-GLOBAL ID：200903006114403710

酸化インジウム-酸化錫焼結体からなるスパッタリング用ターゲット

発明者： 町野 毅 ,  杉原 忠 ,  武下 拓夫
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219736
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048815
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【目的】 液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の透明電極、帯電防止導電膜コーティング、ガスセンサーなどに用いられるインジウム-錫酸化物透明導電膜を高速成膜することのできるスパッタリング用ターゲットに関するものである。【構成】 JIS Z 8720で規定される標準光源Cを用い、JIS Z8722で規定される測定方法を用いて測定された場合の色度座標が、0.3<x<0.4、0.3<y<0.4、|x-y|<0.05、である酸化インジウム-酸化錫焼結体からなるスパッタリング用ターゲット。

請求項（抜粋）：

JIS Z 8720で規定される標準光源Cを用い、JIS Z 8722で規定される測定方法を用いて測定された色度座標が、0.3<x<0.4、0.3<y<0.4、|x-y|<0.05、である酸化インジウム-酸化錫焼結体からなることを特徴とするスパッタリング用ターゲット。

IPC (2件)：

C04B 35/00 ,  C23C 14/34