特許

J-GLOBAL ID：200903006116071570

逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器

発明者： 谷口 雅樹 ,  太田 俊明
出願人/特許権者： 広島大学長
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-068235
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275051
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明はハイカットフィルターとローカットフィルターとを組合せて造られた光電子増倍管をもった逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器の改良であって、光検出器の分解能ならびに検出感度を向上し、高分解逆光電子分光測定を可能にし、半導体、磁体材料の分析、評価に大きく貢献することを目的とする。【構成】 電子銃よりのビームを試料に入射した際に放出された光をミラーにより集光し、これをハイカットフィルターの窓をもったローカットフィルターの光電子増倍管に入射する逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器において、前記光電子増倍管の第1ダイノードに塩化カリウムを500 〜1000Åの厚さに蒸着したことを特徴とする逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器。

請求項（抜粋）：

電子銃よりのビームを試料に入射した際に放出された光をミラーにより集光し、これをハイカットフィルターの窓をもったローカットフィルターの光電子増倍管に入射する逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器において、前記光電子増倍管の第1ダイノードに塩化カリウムを500 〜1000Åの厚さに蒸着したことを特徴とする逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器。

IPC (2件)：

H01J 43/08 ,  G01N 23/227

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-055250
  
• 特開昭61-224234
  
• 特公昭27-004622