特許

J-GLOBAL ID：200903006118190800

電子放出素子の製造装置

発明者： 坂野 嘉和 ,  三道 和宏 ,  重岡 和也 ,  長谷川 光利 ,  貴志 悦朗 ,  宮本 雅彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242559
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110033
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、低コストで基板上に多数の電子放出素子を形成するのに適した製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 基板上に金属元素を含有する液滴を吐出してこれを付与する液滴付与手段と、前記液滴の付与状態を検出する検出手段と、該検出手段によって得られる情報に基づいて前記液滴付与手段の吐出パラメータを制御する制御手段とを有してなる電子放出素子の製造装置。

請求項（抜粋）：

基板上に金属元素を含有する液滴を吐出してこれを付与する液滴付与手段と、前記液滴の付与状態を検出する検出手段と、該検出手段によって得られる情報に基づいて前記液滴付与手段の吐出パラメータを制御する制御手段とを有してなる電子放出素子の製造装置。