特許
J-GLOBAL ID：200903006119461735

形状測定方法および装置

発明者：
林 真市

林 真市 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301476
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141926
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 干渉計を用いて観察物体の形状測定をする場合でも、観察物体の形状を精度良く推定できる形状測定方法を提供する。【解決手段】 観察物体の形状情報を持つ光と参照光とを干渉させることにより、観察物体の形状に依存する干渉像を生成して観察物体の形状を推定するにあたり、干渉像によって観察される位相特異点と観察物体の基準点との相対位置を検出し、その相対位置に基づいて観察物体の形状を演算して推定する。
請求項（抜粋）：
観察物体の形状情報を持つ光と参照光とを干渉させることにより、前記観察物体の形状に依存する干渉像を生成して前記観察物体の形状を推定するにあたり、前記干渉像によって観察される位相特異点と前記観察物体の基準点との相対位置を検出し、その相対位置に基づいて前記観察物体の形状を演算して推定することを特徴とする形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01B 11/24 D ,  G01B 9/02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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