特許
J-GLOBAL ID:200903006121975649
保護ダイオードを備えたCMOS半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
最上 健治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-305691
公開番号(公開出願番号):特開平5-121684
出願日: 1991年10月25日
公開日(公表日): 1993年05月18日
要約:
【要約】【目的】 LDD構造のCMOS半導体装置において静電耐圧を向上させた保護ダイオードを設ける。【構成】 半導体基板1に形成された保護ダイオードを有するLDD構造のCMOS半導体装置において、Pウェル2内に形成されるNチャネルMOSFETのソース・ドレイン領域は高濃度n型拡散層4が低濃度n型拡散層3に完全に覆われる構造を有し、Pウェル2内に形成されるN型保護ダイオードの活性領域には低濃度n型拡散層3を設けずに、PN接合面をPウェル2と高濃度n型拡散層4の接合部で構成する。
請求項(抜粋):
半導体基板に形成された入力及び出力保護ダイオードを備えたLDD構造のCMOS半導体装置において、Pウェル内に形成されているNチャネルMOSFETのソース・ドレイン領域は高濃度n型拡散層が低濃度n型拡散層に完全に覆われている構造を有しており、前記入力及び出力保護ダイオードの中のPウェル内に形成されているN型保護ダイオードの活性領域には、前記NチャネルMOSFETのソース・ドレイン領域を構成している低濃度n型拡散層を設けずに、N型保護ダイオードのPN接合面がPウェルと高濃度n型拡散層の接合部で構成されていることを特徴とする保護ダイオードを備えたCMOS半導体装置。
IPC (4件):
H01L 27/092
, H01L 27/06
, H01L 21/336
, H01L 29/784
FI (4件):
H01L 27/08 321 E
, H01L 27/06 311 B
, H01L 27/08 321 H
, H01L 29/78 301 P
引用特許:
審査官引用 (2件)
-
特開昭62-076676
-
特開昭61-156856
前のページに戻る