特許
J-GLOBAL ID:200903006126935785

偏光分離光学素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 芝野 正雅
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-031033
公開番号(公開出願番号):特開2004-240297
出願日: 2003年02月07日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】設計の自由度が高く、しかも所望とされる偏光分離機能を、より高い性能で且つ、安定して実現することのできる偏光分離光学素子を提供する。【解決手段】P偏光とS偏光とを偏光分離する回折格子30として、凸部30aおよび凹部30bの繰り返し構造からなる略矩形の凹凸面を形成する。凸部30aの上面と凹部30bの底面とには、それぞれアルミニウム層を含んで構成される反射層30cを形成する。この偏光分離光学素子は、入射光線に対して斜めに配置されるものであり、特に、凹凸ピッチに対する反射層30cの形成前の凸部30aの高さの比(アスペクト比)を「1.0」以下、凹凸ピッチに対する凸部30aの幅の比を「0.6」近傍、凹凸ピッチを「250nm」以下とすることで、高性能で且つ安定した偏光分離機能が実現される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基板表面の微細構造を利用して、入射光線を各々偏光面の直交する偏光光に分離する偏光分離光学素子であって、 前記基板表面が略矩形の凹凸面を有してなるとともに、該凹凸面の上面および底面の少なくとも一方に反射層が形成されてなる ことを特徴とする偏光分離光学素子。
IPC (8件):
G02B5/18 ,  G02B1/10 ,  G02B1/11 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1335 ,  G11B7/135
FI (8件):
G02B5/18 ,  G02B5/08 B ,  G02B5/30 ,  G02F1/13 505 ,  G02F1/1335 510 ,  G11B7/135 A ,  G02B1/10 A ,  G02B1/10 Z
Fターム (36件):
2H042DA02 ,  2H042DA03 ,  2H042DA11 ,  2H042DA18 ,  2H042DA22 ,  2H042DC02 ,  2H049AA03 ,  2H049AA13 ,  2H049AA64 ,  2H049AA65 ,  2H049BA05 ,  2H049BA43 ,  2H049BA45 ,  2H049BB16 ,  2H049BB63 ,  2H049BB65 ,  2H049BC22 ,  2H049BC25 ,  2H088EA14 ,  2H088EA15 ,  2H088HA20 ,  2H091FA10 ,  2H091FA14 ,  2H091FA26X ,  2H091FA26Z ,  2H091FA41Z ,  2H091MA07 ,  2K009AA02 ,  2K009AA15 ,  2K009EE00 ,  5D789AA38 ,  5D789JA13 ,  5D789JA22 ,  5D789JA25 ,  5D789JA64 ,  5D789JA65

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