特許
J-GLOBAL ID：200903006127372750

基板洗浄部材、ならびにこれを用いた基板洗浄装置および基板洗浄方法

発明者：
岡本 伊雄

岡本 伊雄 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269508
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079190
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：
【要約】【課題】基板を良好にスクラブ洗浄できる基板洗浄部材、基板洗浄装置、および基板洗浄方法を提供する。【解決手段】端面支持ハンド100,101に保持されて回転されるウエハWは、図示しない回転駆動源によって回転するスクラブユニット106,110のスポンジブラシ105,109によってスクラブ洗浄されている。そして、このスポンジブラシ105,109の接触部S1,S2は、ポリエチレン製の多孔質材からなっている。
請求項（抜粋）：
基板に接触してスクラブ洗浄を施すための基板洗浄部材であって、基板と接触すべき接触部が、ポリエチレンまたはポリプロピレン製の多孔質材からなることを特徴とする基板洗浄部材。
IPC (6件)：
B08B 1/04 ,  B08B 3/04 ,  B08B 7/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 644
FI (6件)：
B08B 1/04 ,  B08B 3/04 A ,  B08B 7/04 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 644 C
Fターム (22件)：
2H088FA05 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  2H090JC19 ,  3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116AB34 ,  3B116AB42 ,  3B116BA08 ,  3B116BA13 ,  3B116BB24 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BA13 ,  3B201BB24 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96
引用特許：
審査官引用 (6件)
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