特許

J-GLOBAL ID：200903006127541047

ステージ装置

発明者： 菅原 弘文 ,  金 久
出願人/特許権者： キヤノン電子株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-152698
公開番号（公開出願番号）：特開2007-325412
出願日： 2006年05月31日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】温度上昇を抑えて、エネルギー損失及び精度の低下を抑制したステージ装置を提供する。【解決手段】可動ステージ4と、可動ステージを所定方向に移動駆動するリニアモータ50と、リニアモータの所定部位の温度を検出する温度センサ7と、リニアモータの磁界発生用のコイルを冷却する冷却部9と、可動ステージを移動駆動するための入力情報に基づいて、リニアモータの駆動を制御する駆動制御部34と、入力情報と温度センサにより検出された温度情報とに基づいて、リニアモータの駆動により生ずるリニアモータの温度上昇を予測し、温度上昇の予測値に基づいて冷却部を制御する温度制御部34とを具備する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

可動ステージと、 前記可動ステージを所定方向に移動駆動するリニアモータと、 前記リニアモータの所定部位の温度を検出する温度センサと、 前記リニアモータの磁界発生用のコイルを冷却する冷却手段と、 前記可動ステージを移動駆動するための入力情報に基づいて、前記リニアモータの駆動を制御する駆動制御手段と、 前記入力情報と前記温度センサにより検出された温度情報とに基づいて、前記リニアモータの駆動により生ずる前記リニアモータの温度上昇を予測し、該温度上昇の予測値に基づいて前記冷却手段を制御する温度制御手段と、 を具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H02K 41/02 ,  H02K 41/03 ,  H02K 9/22

FI (3件)：

H02K41/02 Z ,  H02K41/03 A ,  H02K9/22 Z

Fターム (19件)：

5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ25 ,  5H609RR51 ,  5H609RR65 ,  5H609RR69 ,  5H609RR71 ,  5H609SS17 ,  5H641BB06 ,  5H641BB14 ,  5H641BB16 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG08 ,  5H641HH03 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-007931   出願人：クロノファング株式会社
• リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-066519   出願人：多摩川精機株式会社