クリーンルーム設備

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224025
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050567
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】室内顕熱の処理と室内の清浄度の緩和とを同時に達成することによりコストを削減することのできるクリーンルーム設備を提供する。【解決手段】クリーンルーム設備10は、床下空間28、リターン空間34、天井裏空間38によって形成される循環系路が室12に連通されるとともに、床下空間28にFFU32と冷却装置30とが図1の奥行き方向に交互に配設される。FFU32と冷却装置30はそれぞれファンを備えており、このファンを回転させることによって床下空間28のエアを除塵または除熱してリターン空間34に吹き出す。また、FFU32と冷却装置30は、制御装置36によってファンの回転数が制御される。

請求項（抜粋）：

室内に連通する循環系路を形成し、該循環系路と前記室内との間でエアを循環させることによって前記室内の除塵と除熱を行うクリーンルーム設備において、前記循環系路内に除塵装置と冷却装置とを、前記循環系路を循環するエアの流れに対して並列な位置関係になるように配置するとともに、前記除塵装置と冷却装置にそれぞれ送風手段を設けたことを特徴とするクリーンルーム設備。

Fターム (5件)：

3L058BE02 , 3L058BF01 , 3L058BF07 , 3L058BG03 , 3L058BG05

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