特許
J-GLOBAL ID：200903006135176269
磁性体観察用走査型電子顕微鏡
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-274075
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130317
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】磁性体試料の磁束密度分布を高いコントラストで観察するために、試料の大角度傾斜を行うが、その試料傾斜によっても焦点の外れや像歪みの生じない走査像が得られる磁性体観察用走査型電子顕微鏡を実現する。【構成】電子ビーム1を収束レンズ2、走査コイル3、対物レンズ4で収束して磁性体試料6上を走査し、電子ビーム1が試料6を透過する際に受けるローレンツ力による偏向量を下方の位置検出器11によって検出する。ここで試料6は大角度の傾斜機構7により傾斜され、これによって生じる焦点外れや像歪みの現象を、上記傾斜機構7に連動する焦点制御装置13と補助レンズ5、および走査制御装置14とによって補正する。
請求項（抜粋）：
電子銃より放射された電子ビームを収束レンズ、走査コイル、対物レンズなどの電子光学系によって細く収束して試料面上を走査し、上記電子ビームが上記試料面を通過する際に被る偏向作用を検出する電子ビームの位置検出器を備え、上記試料面に存在する磁性体試料の磁束密度の向きと大きさを解析する機能を備えた磁性体観察用走査型電子顕微鏡において、上記試料を光軸に対して大角度に傾斜できる試料傾斜手段を有し、かつ、該試料の傾斜角度に基づいて、上記電子ビームの収束点が常に上記試料面上に形成されるように、上記電子ビームの走査に連動して焦点を調整する焦点調整手段を有することを特徴とする磁性体観察用走査型電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, H01J 37/04
, H01J 37/147
, H01J 37/21
