特許

J-GLOBAL ID：200903006135649973

感光性樹脂組成物

発明者： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-270972
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249677
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 ハーフミクロン又はそれ以下の寸法で高精度な加工に必要な短波長光源に高感度に反応する短波長光源用の感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、ポリ(ヒドロキシスチレン)のアリルエーテルと、放射線の作用により酸を発生する酸発生剤とからなる。この酸発生剤には、トリアリールスルホニウム塩又はジアリールヨードニウム塩又は芳香族スルホン酸エステルが用いられ、その添加量はポリ(ヒドロキシスチレン)のアリルエーテルに対して、0.15〜50重量パーセントとする。

請求項（抜粋）：

ポリ(ヒドロキシスチレン)のアリルエーテルと、放射線の作用により酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027