特許
J-GLOBAL ID：200903006136165937
2段スクリユー真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敏忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-401674
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018378
出願日： 1990年12月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 中間通路の中間圧の上昇を抑え、駆動トルクの低減をはかる2段スクリューポンプの提供。【構成】 真空容器21は、前段ポンプ22の前段吸込口27に接続され、吐出口28は中間通路23により後段ポンプ24の後段吸込口29に接続される。中間通路23を前段ポンプの吸込口に連通する連通通路31に開閉弁33を設ける。駆動機25の出力軸には、増速ギヤ26が設けられ、それは雄ロータ7A,7Bに連係されている。真空容器21内の気体は、前役ポンプ、中間通路23及び後段ポンプを介して後段吐出口30から吐出され、真空容器21内が高真空度に維持される。前段ポンプの吸込口に圧力スイッチ32を設け、所定圧力以上の圧力を検出したときに開閉弁33を開き、所定圧力以下の圧力を検出したときに閉じる。
請求項（抜粋）：
平行な2軸の回りを互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロータを収め吸込口吐出口を備えたケーシングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連通したスクリュー真空ポンプにおいて、前記中間通路と前記前段ポンプの吸込口とを連通する連通通路を設け、該連通通路に前記前段ポンプの吸込口の圧力が所定圧力より高いときに開く開閉弁を設けたことを特徴とする2段スクリュー真空ポンプ。
IPC (3件)：
F04C 25/02
, F04C 23/00
, F04C 29/10 311
