特許

J-GLOBAL ID：200903006136572508

X線発生用ターゲット

発明者： 近藤 洋行 ,  村上 勝彦 ,  大谷 正之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153660
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347195
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 レーザプラズマX線源で発生するX線のスペクトル分布を任意に設定できるようにする。【構成】 プラズマ発生源3となる物質がレーザ照射部1aに設けられ、このプラズマ発生源3にレーザ7を照射してプラズマ化することによりX線を発生させるX線発生用ターゲット1において、このプラズマ発生源3を複数種類の物質4〜6から構成した。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生源となる物質がレーザ照射部に設けられ、このプラズマ発生源にレーザを照射してプラズマ化することによりX線を発生させるX線発生用ターゲットにおいて、前記プラズマ発生源は複数種類の物質から構成されていることを特徴とするX線発生用ターゲット。

IPC (2件)：

H05G 2/00 ,  G21K 5/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-128537
  
• 特開平4-112498
  
• 特開昭62-015740