特許
J-GLOBAL ID:200903006142278344
化成被膜の検査方法及び検査装置
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
西出 眞吾
, 前田 均
, 大倉 宏一郎
, 佐藤 美樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-196395
公開番号(公開出願番号):特開2006-053130
出願日: 2005年07月05日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
【課題】目視評価が困難な薄膜かつ付着量が少ない化成被膜に対してもオンラインで被膜品質を検査できる化成被膜の検査装置を提供する。【解決手段】検査対象たる化成被膜100に対して光を照射する光照射手段301と、化成被膜による反射光を受光する受光手段302と、光照射手段から照射された光の光量と受光手段により受光された光の光量とを比較して光反射率を算出する光反射率演算手段303と、予め測定された化成皮膜の光反射率と付着量との関係を記憶する記憶手段304と、記憶手段に記憶された化成被膜の光反射率と付着量との関係を参照して光反射率演算手段により求められた光反射率から化成被膜の品質を判定する品質判定手段305とを有する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
検査対象たる化成皮膜の光反射率を測定し、予め測定された化成皮膜の光反射率と付着量との関係を参照して前記検査対象たる化成皮膜の品質を検査することを特徴とする化成皮膜の検査方法。
IPC (4件):
G01N 21/47
, C23C 22/73
, C25D 13/00
, C25D 21/12
FI (4件):
G01N21/47 Z
, C23C22/73 Z
, C25D13/00 L
, C25D21/12 C
Fターム (30件):
2G059AA05
, 2G059BB10
, 2G059CC03
, 2G059EE02
, 2G059FF01
, 2G059GG02
, 2G059HH02
, 2G059JJ03
, 2G059JJ11
, 2G059KK01
, 2G059KK03
, 2G059MM01
, 2G059MM05
, 2G059PP01
, 4K026AA02
, 4K026AA07
, 4K026AA09
, 4K026AA25
, 4K026BA01
, 4K026BB07
, 4K026BB10
, 4K026CA13
, 4K026CA18
, 4K026CA28
, 4K026CA39
, 4K026DA08
, 4K026DA16
, 4K026EA08
, 4K026EB08
, 4K026EB10
前のページに戻る