特許

J-GLOBAL ID：200903006142986705

濃度測定装置

発明者： 加藤 光雄 ,  田浦 昌純 ,  牟田 研二 ,  徳田 君代 ,  藤村 皓太郎
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-296452
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142148
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】背景光がある条件下でもガス濃度を正確に測定可能な濃度装置を提供すること。【解決手段】測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を発振する光源部10と、この光源部から発振されるレーザ光の波長に変調を加えるための変調信号発生器20と、前記測定対象を通過したレーザ光と背景光を受光し、光強度を検出する第1の受光部40と、この第1の受光部40近傍に配置され、背景光のみを受光し、光強度を検出する第2の受光部50と、前記第1の受光部で検出された光強度とレーザ光に加えられた変調成分とから測定対象中のガス状物質による光吸収量を検出する位相敏感検波器30と、検出された二つの光強度と光吸収量とから測定対象中のガス状物質濃度を検出する演算器31とを具備

請求項（抜粋）：

測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を発振する光源部と、この光源部から発振されるレーザ光の波長に変調を加えるための変調信号発生器と、前記測定対象を通過したレーザ光と背景光を受光し、光強度を検出する第1の受光部と、この第1の受光部近傍に配置され、背景光のみを受光し、光強度を検出する第2の受光部と、前記第1の受光部で検出された光強度とレーザ光に加えられた変調成分とから測定対象中のガス状物質の吸収波長での光吸収量を検出する位相敏感検波器と、検出された二つの光強度と光吸収量とから測定対象中のガス状物質濃度を検出する演算器とを具備してなることを特徴とする濃度測定装置。