特許
J-GLOBAL ID：200903006146008104
イオン電流密度の安定化方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-036678
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236054
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 プラズマよりイオンビームを引出すイオン源におけるイオン電流密度の安定化方法を提供する。【構成】 作動ガスを満たしたプラズマ発生室1内でフィラメント2からのアーク放電によりプラズマを発生させ、このプラズマ発生室1からイオンビーム8を引出したり停止したりする際に、イオンビーム8を停止しているときのアークパワー密度を抑制してイオンビーム8を引出しているときと同じアークパワー密度になるように制御する。
請求項（抜粋）：
作動ガスを満たしたプラズマ発生室内でフィラメントからのアーク放電によりプラズマを発生させ、このプラズマ発生室からイオンビームを引出したり停止したりする際に、イオンビームを停止しているときのアークパワー密度を抑制してイオンビームを引出しているときと同じアークパワー密度になるように制御することを特徴とするイオン電流密度の安定化方法。
IPC (3件)：
H01J 37/08
, H01J 27/08
, H01J 37/04
H01J 37/08
, H01J 27/08
, H01J 37/04 A
