液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242121
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090684
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】光配向により液晶表示素子の配向膜を形成することが可能な偏光光照射装置を提供すること。【解決手段】放電ランプ1が放射する紫外光を含む光は、楕円集光鏡2で集光され、第1の平面鏡3で反射し、シャッタ4を介してインテグレータレンズ5に入射する。インテグレータレンズ5から出た光は、さらに第2の平面鏡6で反射し、コリメータレンズ7で平行光にされ、偏光素子8に入射する。偏光素子8は、複数枚のガラス板を間隔をあけて平行配置し、これらのガラス板を入射光に対してブリュースタ角傾けて配置したものであり、P偏光を透過させS偏光の大部分を反射する。偏光素子8が出射するP偏光はマスクMを介してワークWに照射される。

請求項（抜粋）：

紫外光を含む光を放出するランプと、上記ランプの光を集光する集光鏡と、インテグレータレンズと、コリメターレンズもしくはコリメータミラーから構成される光照射装置において、上記コリメターレンズもしくはコリメータミラーの出射側に、間隔をおいて平行配置した複数枚のガラス板を主光線に対してブリュースタ角だけ傾けて配置した偏光素子を設け、上記偏光素子のガラス板の枚数を、平行偏光光成分Pと垂直偏光光成分Sの比S/Pが0.1以下で、かつ、上記ブリュースタ角に対して±5°傾いた入射光に対する平行偏光光Pの減衰が1/2以下となるように設定したことを特徴とする液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置。

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